高純氫氟酸使用的提純技術有蒸餾，精餾，亞沸蒸餾，氣體吸收等一些相關的技術，這些提純技術也是各有各的特性，各有所長，一些提純技術比如亞沸蒸餾技術僅僅是可以使用制備量比較少的產(chǎn)品，但是一些提純技術就比如氣體吸收技術也是可以使用在一些大規(guī)模的生產(chǎn)和使用。

因此，選擇工藝技術路線時應視實際情況而定。另外，由于氫氟酸具有強腐蝕性，采用蒸餾工藝時所使用的蒸餾設備一般需用鉑、金、銀等貴金屬或聚四氟乙烯等抗腐蝕性能力較強的材料來制造。

高純氫氟酸生產(chǎn)裝置流程布置要以垂直流向為主，原料無水氫氟酸和高純水在上層，氫氟酸的提純在中層，過濾、包裝及儲存在底層。因為原料（無水氫氟酸和高純水）與中間產(chǎn)物可以依靠重力自上而下流動，避免用泵輸送，節(jié)省能耗，降低生產(chǎn)成本。下面介紹一種精餾、吸收相結合的生產(chǎn)高純氫氟酸的生產(chǎn)工藝。

把污水氫氟酸經(jīng)過化學預處理之后通過給料泵然后進入高位槽，再者通過流量計控制進入到蒸餾塔內部，通過精餾的操作得到精制之后的氟化氫氣體，并且將其送到吸收塔，精餾塔的殘液定期的排放加工制成的工業(yè)氫氟酸，在吸收塔內部，通過加入計量之后的高純水，使得精餾之后的氟化氫氣形成氫氟酸，并且可以采用控制噴淋的密度，氣液比等方法使使得氫氟酸可以進一步的純化，得到粗產(chǎn)品，隨后經(jīng)過干凈過濾工序這樣使得產(chǎn)品進一步的混合得到過濾，保證產(chǎn)品的顆粒合格，然后在凈化室內進行包裝從而得到產(chǎn)品。

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